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超臨界二氧化碳清洗系統(tǒng)

描述:SFE-1型超臨界二氧化碳清洗系統(tǒng)

超臨界二氧化碳無損傷清洗設(shè)備。應(yīng)用此設(shè)備對硅片進行清洗的顆粒明顯減少,且平均粒徑小于傳統(tǒng)清洗的粒徑。相對用等離子法清洗,該方法不會對硅片造成損傷,同時可減少工藝步驟,節(jié)省時間,提高工作效率。
更新時間:2024-12-17
產(chǎn)品型號:SFE-1型
所在城市:南通市
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1591


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